Struktura i princip rada difuznog silicijskog odašiljača tlaka

Strukturni sastav difuznog silicijskog odašiljača tlaka

Budući da je izlaz osjetnika tlakaUPX19je nestandardni signal, u praktičnoj primjeni, kako bi senzor postao univerzalan i olakšao prijenos i snimanje signala, senzor se koristi zajedno sa standardnim ulaznim krugom signala za izlaz standardnog signala. Senzor koji u ovom trenutku emitira standardni signal naziva se odašiljač tlakaUPB13.

Ukratko, odašiljač se postupno razvija od senzora. Difuzni silikonski odašiljač tlaka koji se proučava u ovom radu sastoji se uglavnom od MEMS senzora, mjerne kapsule, sučelja i kruga za obradu (pametna pločica).

Osjetnik tlaka i senzor temperature diode pakirani su na vrhu mjerne kapsule, a tijelo kapsule pričvršćeno je s dvije brtvene prirubnice kako bi se oblikovao mjerni dio odašiljača, koji je odgovoran za pretvorbu tlačnog signala koji se mjeri na radilište u naponski signal. Uz to, elektronička pločica, zaglavlje zaslona s tekućim kristalima i priključni terminal čine dio zaslona koji je odgovoran za pretvaranje napona izlaznog signala senzora u 4-20mA pojačavanjem, a zatim iznošenje standardnog trenutnog signala.

Princip rada difuznog silicijskog odašiljača tlaka

Na temelju piezorezitivnog učinka monokristalnog silicija, elastična komponenta izrađuje se u određenom smjeru na silicijskoj pločici s naprednom mikro-elektromehaničkom tehnologijom obrade, a četiri otpornika osjetljiva na silu s jednakim otporom izrađuju se tehnologijom integriranih sklopova na odgovarajućem položaju, koji se spaja s Wheatstoneovim mostom. Na most se primjenjuje konstantni napon (struja), a izmjereni tlak prenosi se na silicijski čip kroz silikonsko ulje zapečaćeno u mjernu kapsulu bez gubitka, a zatim odašiljač daje naponski signal linearno proporcionalan tlaku koji se mjeri, a zatim se signal napona pojačava i putem elektroničkih sklopova pretvara u dvožični standardni signal.

Da rezimiramo:

Iz njegovog principa rada može se znati da je osjetnik tlaka važan dio odašiljača tlakaUPB1, a glavni izvor temperaturnog pomaka predajnika je temperaturni pomak silicijskog senzora tlaka. Trenutno istraživanje o kompenzaciji temperaturnog zanosa silicijskih odašiljača tlaka također je uglavnom usredotočeno na dio silicijskih senzora tlaka.

Za detalje se obratiteQi Huang